為減輕污染危害或避免污染擴大，土壤及地下水污染整治基金對於需採取必要應變措施，或須由政府代為處理之緊急危害污染場址，係由該基金先行墊付費用或協助辦理整治工作，再向污染行為人求償(包括：污染行為人、潛在污染責任人、污染土地關係人)。
惟查截至109年8月止，土污基金尚未全額求償歸墊之代為支應案件共計159件(詳表1)，代為支應金額約為16億4,399萬5千元，其中已求償歸墊部分金額為853萬9千元，僅占0.52%，尚未歸墊金額達16億3,545萬6千元，並以92年度及100年度之金額最高，分別為2億4,145萬2千元及3億4,694萬元，各年度未歸墊之原因概為求償對象不明、已發動求償尚未歸墊、刻正辦理求償作業以及尚未結案等。
表1 109年8月止土污基金先行代墊個案污染支出及其歸墊情形
單位：新台幣千元
年度
件數
代為支應金額
求償歸墊金額
尚未歸墊金額
90
2
40,323
97
40,226
91
6
13,395
0
13,395
92
13
241,452
0
241,452
93
4
28,747
0
28,747
94
4
31,837
0
31,837
95
5
21,117
3,779
17,338
96
3
15,858
0
15,858
97
1
17,228
-
17,228
98
3
55,025
834
54,191
99
5
14,531
0
14,531
100
15
347,862
922
346,940
101
7
46,959
0
46,959
102
12
69,990
0
69,990
103
33
187,239
2,629
184,610
104
29
107,348
278
107,070
105
5
167,712
0
167,712
106
4
70,615
0
70,615
107
3
111,450
0
111,450
108
5
55,307
0
55,307
合計
159
1,643,995
8,539
1,635,456
資料來源：環保署土污基金。本研究整理。
綜上，由於土壤及地下水污染具有累積性、延時性及隱晦性，故土壤及地下水污染可能經年累月之後始被發現，造成事後追查及追償之困難。基此，該基金對於土壤及地下水污染事件，宜積極整治並向污染行為人追償相關污染整治費，以落實土壤及地下水污染求償制度。